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2025年5月12日星期一 8時(shí)58分26秒

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歡迎來(lái)到東莞市夏陽(yáng)新材料有限公司官方網(wǎng)站，本公司主營(yíng)各種先進(jìn)陶瓷和硬質(zhì)合金，產(chǎn)品包括：氧化鋯陶瓷 (ZrO2)，氧化鋁陶瓷(Al2O3)，氮化硅陶瓷(Si3N4)，碳化硅陶瓷(SiC)，氧化鎂鋯陶瓷，鎢鋼加熱板，鎢鋼模具，鎢鋼零部件，鎢鋼軋輥，陶瓷軋輥，陶瓷泵閥，灌裝泵閥，焊接輥，成型輥，導(dǎo)軌、定位塊，水刀棒等等！

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半導(dǎo)體設(shè)備

陶瓷機(jī)械手臂

陶瓷機(jī)械手臂又稱、陶瓷機(jī)械手指、晶圓托盤(pán)、晶圓機(jī)械手臂等,主要在半導(dǎo)體設(shè)備中起到輸送搬運(yùn)的作用，它相當(dāng)于半導(dǎo)體設(shè)備這個(gè)機(jī)器人的手，負(fù)責(zé)搬運(yùn)晶圓硅晶片到指定位置。

產(chǎn)品特點(diǎn)

產(chǎn)品精度高
氣密性好
耐高溫性好
表面電阻率可控
耐酸堿、抗腐蝕能力強(qiáng)，能適應(yīng)極度惡劣

查看產(chǎn)品

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產(chǎn)品性能	單位	參數(shù)
電阻率	Ω	碳化硅	1x10⁵
		氧化鋁	1x10¹⁴
最高使用溫度	℃	分體式手臂	350
		一體式手臂	800
吸附面光潔度	Ra	0.01
吸附面平面度	m m	0.01內(nèi)

▲ 自密性檢測(cè):關(guān)閉真空氣源，負(fù)壓-85Kpa到-80Kpa，時(shí)長(zhǎng)達(dá)60s以上

▲ 晶圓吸附檢測(cè):關(guān)閉真空氣源，負(fù)壓-80Kpa到-25Kpa，時(shí)長(zhǎng)達(dá)35s以上

東莞硬質(zhì)合金,精密鎢鋼,鎢鋼零件,精密機(jī)械,軋輥,鎢鋼模具,陶瓷材料研發(fā),陶瓷方案提供,東莞市夏陽(yáng)精密鎢鋼有限公司

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