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東莞市夏陽(yáng)新材料有限公司

2024年12月4日 星期三 17時(shí)04分43秒

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描述
半導(dǎo)體設(shè)備
陶瓷機(jī)械手臂
陶瓷機(jī)械手臂又稱、陶瓷機(jī)械手指、晶圓托盤(pán)、晶圓機(jī)械手臂等,主要在半導(dǎo)體設(shè)備中起到輸送搬運(yùn)的作用，它相當(dāng)于半導(dǎo)體設(shè)備這個(gè)機(jī)器人的手，負(fù)責(zé)搬運(yùn)晶圓硅晶片到指定位置。
      由于晶圓硅晶片極其容易受到其他物質(zhì)的污染，所以一般在真空環(huán)境下進(jìn)行。在此環(huán)境下，大部分材料的機(jī)械手臂一般難以完成工作，制作機(jī)械手臂的材料需要耐高溫、耐磨、并且硬度也需要很高。而先進(jìn)陶瓷材料恰好可以滿足這些條件，一般的陶瓷機(jī)械手臂主要有三種，一種是氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂，另兩種是黑色陶瓷和復(fù)合陶瓷機(jī)械手臂。這幾種陶瓷材料都具備高致密度、高硬度、高耐磨性的物理性質(zhì)，以及良好的耐熱性能、優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度、高溫環(huán)境仍具有良好的絕緣性、良好的抗腐蝕性等物理性能，是用于制作半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械手臂的絕佳材料。 
目前我公司生產(chǎn)的陶瓷機(jī)械手臂適用于各種高性能要求的半導(dǎo)體設(shè)備，其制作的陶瓷產(chǎn)品得到了廣大客戶的肯定。
半導(dǎo)體機(jī)械手臂
半導(dǎo)體陶瓷機(jī)械手臂
晶圓吸盤(pán)
夏陽(yáng)材料
氧化鋁陶瓷
黑色陶瓷
復(fù)合陶瓷

  • 密      度：3.9g/cm

  • HRA硬度：91
  • 抗彎強(qiáng)度：370 Mpa
  • 熱震穩(wěn)定：220△T.℃
  • 介電強(qiáng)度：22KV/MM  

  • 密      度：3.15g/cm

  • HRA硬度：93

  • 抗彎強(qiáng)度：400 Mpa

  • 熱震穩(wěn)定：400△T.℃

  • 介電強(qiáng)度：0KV/MM 

  • 密      度：3.2g/cm

  • HRA硬度：92

  • 抗彎強(qiáng)度：850 Mpa

  • 熱震穩(wěn)定：800△T.℃

  • 介電強(qiáng)度：12KV/MM

材料綜合性能

l 1:高硬度

l 2:散熱快

l 3:耐磨損

l 4:絕緣/無(wú)干擾

l 5:耐酸堿、抗腐蝕能力強(qiáng)，能適應(yīng)極度惡劣




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